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科华248nm光刻胶通过中芯国际等客户认证南大光电
更新时间:2019-07-15   浏览次数:

  此外,南大光电透露,193nm光刻胶处于研发阶段,财产化同步进行,进展成功。公司组建专职的研发团队,建成1500平方米的研发核心和百升级光刻胶中试出产线,产物研发进展和获得业界专家的承认。成立了“宁波南大光电材料无限公司”,全力推进“ArF光刻胶开辟和财产化项目”的落地实施。工场扶植完成了所有桩基工程,主要设备的购买正正在洽商中,项目财产化扶植成功。

  其时,南大光电副总司理许从应暗示,科华248nm光刻胶项目成功,为193nm光刻胶财产化供给了工程化团队取工程化手艺的根本。193nm光刻胶正在国际上是成熟产物,正在现有根本上,通过国度支撑以及科华和南大光电合做,引进人才等办法,193nm光刻胶财产化项目标成功是大要率工作。

  据悉,该项目将构成年产25吨ArF(干式和淹没式)光刻胶产物的出产能力,项目总用地面积约86亩,此中一期总投资估计约9.6亿元,于2020年起头财产化,达产后年产值约3.75亿元。同时,南大光电还将成立国内第一个专业用于ArF光刻胶产物开辟的检测评估平台。(校对/小北)

  按照科华取南大光电的打算,2016年~2017年将完成193nm干式光刻胶的研发工做,产物达到客户送样验证要求,2018年产物通过客户验证;正在193nm淹没式光刻胶方面,2017年~2018年完成研发工做,达到客户送样验证要求,2019年~2020年产物通过客户利用验证,尔后逐步构成批量发卖。

  科华官网显示,它是一家中美合伙企业,成立于2004年,产物笼盖KrF(248nm)、I-line、G-line、紫外宽谱的光刻胶及配套试剂,产物打入了中芯国际、华润上华、杭州士兰、华微电子、三安光电、华灿光电、德豪光电等供应系统。

  2015年9月,南大光电入股科华并对外,两边将配合开展193nm光刻胶的研究取产物开辟。

  2018年1月,南大光电取宁波经济手艺开辟区办理委员会签定投资和谈书,南大光电拟正在宁波开辟区投资扶植高端集成电制制用193nm光刻胶材料以及配套环节材料研发及出产项目;11月2日,该项目正式开工。

  不外,两边的合做迟迟没有进展,曲到2018年12月,南大光电颁布发表利用部门超募资金投资“ArF光刻胶产物的开辟取财产化”项目。而正在该项目中,也没有科华的身影。

  集微网动静(文/小如)今日,南大光电正在互动平台上暗示,参股公司科华开辟的248nm光刻胶目前已通过包罗中芯国际正在内的部门客户的认证。